1、sccm是体积流量单位。
2、体积流量:气体体积流量系指单位时间输送管道中流过的气体体积。气体体积有工作状态下体积和标准状态下体积之分,它们都是指在某个压力和某个温度情况下的体积,后者是指压力为一个标准大气压、温度为0℃(或20℃)时的气体体积。标准状态温度多数指0℃,仅在某些场合,例如鼓风机的流量,因多指风机的入口状态,所以标准状态温度采用的是20℃。由于使用工作状态流量参数时,需说明相应的工作温度和压力,这样比较麻烦,并且在人们的脑海中不容易建立一个量的概念,因此,在工程中常使用标准状态流量作为测量标准。既然气体的体积流量是指标准温度和压力下的流量,那么,当介质温度和压力偏离设定状态时,仪表测量的示值就会产生变化。